日本SDI浸漬提拉鍍膜儀成功入駐中國科學院微電子研究所 助力半導體前沿研發

       北京東方德菲儀器有限公司代理的日本SDI浸漬提拉鍍膜儀(型號：ND-0407-N1)，已于近日在中國科學院微電子研究所集成電路先導工藝研發中心成功完成安裝與調試，正式投入使用。該設備將服務于劉頌研究員科研團隊，為半導體晶圓、芯片等關鍵材料的高性能薄膜制備研究提供強大技術支撐。

       此次成功交付并啟用的ND-0407-N1浸漬提拉鍍膜儀，代表了薄膜制備領域的先進水平。該設備一起優異的工藝控制精度、優異的成膜均勻性與穩定性著稱，特別適用于半導體、微電子、光電子、新材料等領域對高質量薄膜涂層（如光刻膠、功能材料涂層、保護層等）的嚴苛研發需求。它能夠滿足從基礎科研到工藝開發過程中對薄膜厚度精準控制、均勻性及界面特性的嚴苛要求。

       中國科學院微電子研究所作為我國集成電路科學與技術領域的國家戰略科技力量，其集成電路先導工藝研發中心始終致力于突破未來集成電路制造的核心關鍵技術。劉頌研究員此次引入ND-0407-N1鍍膜儀，將顯著提升團隊在晶圓級薄膜精確制備與表征方面的實驗能力，為開發更小尺寸、更高性能、更低功耗的新一代集成電路技術提供關鍵的工藝平臺支持。

       北京東方德菲儀器有限公司作為日本SDI株式會社在中國區的授權代理商，全程負責了該設備的技術咨詢、引進、安裝調試及技術培訓工作。公司憑借專業的團隊和對半導體工藝設備的深刻理解，確保了設備順利落地并滿足客戶的科研需求。

       北京東方德菲儀器有限公司是材料表面科學儀器領域的專業服務商，致力于引進全球頂尖的表面界面測量與表征、精密涂鍍膜設備及技術。作為日本SDI株式會社在中國區的戰略合作伙伴，公司為國內高校及科研院所提供高性能的浸漬提拉鍍膜儀等設備以及全面的技術支持、應用開發和售后服務，持續助力中國前沿科學研究和制造業發展。